深孔检测示意图此外，MX-G系列激光同轴振动传感器可实现纳米级的远距准确测振，测振频率范围及振幅灵敏度可与常用LDV相当，具有光收发一体、同轴测量、安装方便、抗干扰性强，不受粉尘或测量面光强度变化影响等特点，可用于喇叭振幅检测、轴承振动检测、车床振动监测、汽车振动检测等方面。电感式接近开关一、原理光电传感器是通过把光强度的变化转换成电信号的变化来实现控制的。激光传感器先由激光发射二极管对准目标发射激光脉冲电感式接近开关

激光测振它基于多普勒原理测量物体的振动速度。多普勒原理是指：若波源或接收波的观察者相对于传播波的媒质而运动，那么观察者所测到的频率不仅取决于波源发出的振动频率而且还取决于波源或观察者的运动速度的大小和方向。所测频率与波源的频率之差称为多普勒频移。在振动方向与方向一致时多普频移fd=v/λ，式中v为振动速度、λ为波长。在激光多普勒振动速度测量仪中，由于光往返的原因,fd=2v/λ。这种测振仪在测量时由光学部分将物体的振动转换为相应的多普勒频移,并由光检测器将此频移转换为电信号,再由电路部分作适当处理后送往多普勒信号处理器将多普勒频移信号变换为与振动速度相对应的电信号，最后记录于磁带。这种测振仪采用波长为6328埃(┱)的氦氖激光器，用声光调制器进行光频调制，用石英晶体振荡器加功率放大电路作为声光调制器的驱动源，用光电倍增管进行光电检测，用频率跟踪器来处理多普勒信号。它的优点是使用方便，不需要固定参考系,不影响物体本身的振动,测量频率范围宽、精度高、动态范围大。缺点是测量过程受其他杂散光的影响较大。。经目标反射后激光向各方向散射。部分散射光返回到传感器接收器，被光学系统接收后成像到雪崩光电二极管上并将其转化为相应的电信号。电感式接近开关激光技术和激光器是二十世纪六十年代出现的最重大的科学技术。激光技术与应用的迅猛发展，和多个学科相结合，形成新兴的交叉学科电感式接近开关

目前光学元器件通常体积大且价格昂贵，并且在与其他电子元器件的连接过程需要定制精确的装配流程。而光学元件集成化可以使其在低成本的基础上，实现更复杂的设计和更多的功能。集成光学芯片可以在一个单一的光学基底上包含数十到数百个光学元件，包括激光器、调制器、光电探测器和滤波器，现已成为一种有效的解决方案，为现有和新兴市场提供创新的光学模组。随着现代制造对光学传感器技术需求的不断增长，集成光学芯片可以简化系统设计，使得传感器可以进行更快速、更准确的测量，而且成本更低。。如光电子学、信息光学、激光光谱学、非线性光学、超快激光学、量子光学、光纤光学、导波光学、激光医学、激光生物学、激光化学等。

电感式接近开关采取三角测量法的激光位移传感器最高线性度可达1um，分辨率更是可达到0.1um的水平。激光回波分析法激光位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度传感器内置温度监控模块，高温自动报警，自动保护。电源带有保护功能，可自动保护电源接反的情况发生；接反还可以正常工作；具有抗高反光的功能，点学习按钮，自动的过滤高反光的影响；可以适用于高反光的材料，例如：可测量不锈钢和铝型材等。。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成电感式接近开关。激光位移传感器通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器，处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间，以此计算出距离值，该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。激光回波分析法适合于长距离检测，但测量精度相对于激光三角测量法要低.